MORPHOLOGICAL AND COMPOSITIONAL PROPERTIES OF MOSE2 FILMS PREPARED BY RF MAGNETRON SPUTTERING

被引：37

作者：

BICHSEL, R

LEVY, F

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1984年 / 116卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(84)90117-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：367 / 372

页数：6

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共 4 条

[1] FRICTION PROPERTIES OF SPUTTERED DICHALCOGENIDE LAYERS [J].

BERGMANN, E ;

MELET, G ;

MULLER, C ;

SIMONVERMOT, A .

TRIBOLOGY INTERNATIONAL, 1981, 14 (06) :329-332

[2] SPUTTERED MOS2 LUBRICANT COATING IMPROVEMENTS [J].

CHRISTY, RI .

THIN SOLID FILMS, 1980, 73 (02) :299-307

[3]

DIMIGEN H, 1979, THIN SOLID FILMS, V64, P221, DOI 10.1016/0040-6090(79)90513-3

[4] MORPHOLOGICAL AND FRICTIONAL BEHAVIOR OF SPUTTERED MOS2 FILMS [J].

SPALVINS, T .

THIN SOLID FILMS, 1982, 96 (01) :17-24