ADAPTIVE-CONTROL TO A DRY ETCH PROCESS BY MICROCOMPUTER

被引：4

作者：

BOEHM, H

机构：

来源：

AUTOMATICA | 1982年 / 18卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1016/0005-1098(82)90055-3

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页码：665 / 673

页数：9

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共 7 条

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