STUDY OF ELECTRICAL-CONDUCTION IN POLYSILICON FILMS

被引:0
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作者
MERCIER, A [1 ]
ELKOOSY, M [1 ]
COLIN, Y [1 ]
机构
[1] UNIV RENNES I, ELECTR & PHYS MAT GRP, F-35031 RENNES, FRANCE
来源
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
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页数:14
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