MASS-SPECTROMETRIC INVESTIGATION OF THE THERMAL-DECOMPOSITION OF VARIOUS ORGANO-SILICON COMPOUNDS IN SIXC1-X(H) CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:12
作者
GERAULT, JP [1 ]
MORANCHO, R [1 ]
CONSTANT, G [1 ]
MAZEROLLES, P [1 ]
MANUEL, G [1 ]
机构
[1] UNIV TOULOUSE 3,ORGANOMET LAB,ERA 829,F-31062 TOULOUSE,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0165-2370(82)80027-2
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
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