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THE INTERACTION OF HYDROGEN WITH SILICON SURFACES - A FIELD-ION MICROSCOPE AND PULSED-LASER ATOM-PROBE STUDY
被引:7
|
作者
:
KELLOGG, GL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
KELLOGG, GL
机构
:
来源
:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1983年
/ 1卷
/ 02期
关键词
:
D O I
:
10.1116/1.572349
中图分类号
:
TB3 [工程材料学];
学科分类号
:
0805 ;
080502 ;
摘要
:
引用
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页码:1125 / 1129
页数:5
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