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PLASMA-DEPOSITED DIELECTRICS FOR MISFET APPLICATIONS
被引：0
作者：
MARKUNAS, RJ
LUCOVSKY, G
机构：
[1] RES TRIANGLE INST,RES TRIANGLE PK,NC 27709
[2] N CAROLINA STATE UNIV,DEPT PHYS,RALEIGH,NC 27695
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：C349 / C349
页数：1
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