ELLIPSOMETRY OF INHOMOGENEOUS SURFACE FILMS

被引：0

作者：

VASILEVA, LL

SVITASHE.KK

SEMENENK.AI

SEMENENK.LV

SOKOLOV, VK

机构：

来源：

OPTIKA I SPEKTROSKOPIYA | 1974年 / 37卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：574 / 581

页数：8

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