LIGHT ION-BOMBARDMENT SPUTTERING, STRESS BUILDUP, AND ENHANCED SURFACE CONTAMINATION

被引：15

作者：

EERNISSE, EP ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3115(74)90248-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：226 / 230

页数：5

共 7 条

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