MICROSTRUCTURE AND GROWTH-KINETICS OF CRSI2 ON SI(100) STUDIED USING CROSS-SECTIONAL TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY

被引：18
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作者：
NATAN, M
DUNCAN, SW
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1985年 / 123卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(85)90042-2
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页数：17
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