MORPHOLOGICAL PROPERTIES OF SPUTTERED MOS2 FILMS

被引：66

作者：

BUCK, V

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0043-1648(83)90073-X

中图分类号：

TH [机械、仪表工业];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

引用

页码：281 / 288

页数：8

共 37 条

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