OPTICAL-PROPERTIES OF RF PLASMA DEPOSITED AND ION-BEAM DEPOSITED AMORPHOUS-CARBON FILMS

被引：0

作者：

MATHINE, D ^{[1
]}

KHAN, AA ^{[1
]}

BUABBUD, G ^{[1
]}

WOOLLAM, JA ^{[1
]}

BANKS, BA ^{[1
]}

DOMITZ, S ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NEBRASKA,DEPT ELECT ENGN,LINCOLN,NE 68588

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0008-6223(84)90364-6

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页数：1