SPUTTERING OF PYROLYTIC-GRAPHITE WITH OXYGEN IONS AT VARIOUS TARGET TEMPERATURES

被引：16

作者：

HECHTL, E ^{[1
]}

BOHDANSKY, J ^{[1
]}

机构：

[1] MAX PLANCK INST PLASMA PHYS, EURATOM ASSOC, D-8046 GARCHING, FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/S0022-3115(86)80023-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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