SUSTAINING MECHANISMS IN RF PLASMAS

被引：23

作者：

GILL, MD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(84)90067-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：357 / 364

页数：8

共 8 条

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