EFFECT OF GROWTH-CONDITIONS ON FORMATION OF MICRODEFECTS IN DISLOCATION-FREE SILICON-CRYSTALS

被引:0
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作者
GRISHIN, VP
KATERUSHINA, LP
LAINER, LV
REMIZOV, OA
机构
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:1222 / 1224
页数:3
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