DEPENDENCE OF PHOTOETCHING RATES OF POLYMERS AT 193 NM ON OPTICAL-ABSORPTION DEPTH

被引：40
作者：
COLE, HS
LIU, YS
PHILIPP, HR
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1986年 / 48卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1063/1.96767
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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