EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON DC-SPUTTERED ANTIMONY-DOPED TIN-DIOXIDE FILMS

被引：5
作者：
SABNIS, AG [1 ]
CHANG, KY [1 ]
机构：
[1] UNIV PITTSBURGH,DEPT ELECT ENGN,PITTSBURGH,PA 15261
来源：
ELECTRONICS LETTERS | 1977年 / 13卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1049/el:19770079
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：113 / 114
页数：2
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共 4 条
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SABNIS AG, TO BE PUBLISHED
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