PREPARATION OF ZNO THIN FILMS BY SPUTTERING OF COMPOUND IN OXYGEN AND ARGON - (0.1 TO 10 MU THICK - SUBSTRATES - SAPPHIRE PYREX GLASS GOLD PLATE - ULTRASONICS - PIEZOELECTRICS - TRANSDUCERS - E)

被引：87
作者：
ROZGONYI, GA
POLITO, WJ
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1966年 / 8卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1754564
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：220 / &
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