NUMERICAL-SIMULATION OF TRANSPORT PROCESSES IN VERTICAL CYLINDER EPITAXY REACTORS

被引：0
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作者：
MANKE, CW
DONAGHEY, LF
机构：
[1] UNIV CALIF BERKELEY,LAWRENCE BERKELEY LAB,BERKELEY,CA 94720
[2] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT CHEM ENGN,BERKELEY,CA 94720
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1977年 / 124卷 / 08期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：C296 / C296
页数：1
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