EFFECT OF HYDROGEN DILUTION OF SILANE IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS PREPARED BY PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：9

作者：

KAMIMURA, T

HIROSE, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1986年 / 25卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.25.1778

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1778 / 1782

页数：5