OXIDATION STUDIES OF AMORPHOUS AND CRYSTALLINE GERMANIUM FILMS BY AUGER-SPECTROSCOPY

被引:16
作者
FAN, JCC [1 ]
HENRICH, VE [1 ]
机构
[1] MIT,LINCOLN LAB,LEXINGTON,MA 02173
关键词
D O I
10.1063/1.1655525
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:3
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