METHOD FOR PRODUCING LARGE SI FILMS FOR PRESELECTED IMPERFECTION ANALYSIS

被引：27
作者：
LAWRENCE, JE
KOEHLER, H
机构：
来源：
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1965年 / 42卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1088/0950-7671/42/4/322
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：270 / &
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共 3 条
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