PROPERTIES OF SPUTTER TITANIUM NITRIDE FILMS DEPOSITED FROM COMPOSITE TARGET

被引：0

作者：

YAMANOUE, A

IIO, H

YAMAI, M

HARA, T

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE 7TH SYMPOSIUM ON ION BEAM TECHNOLOGY | 1989年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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