METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION HYBRID SUBSTRATES FOR HGCDTE

被引：14
作者：
SCHMIT, JL
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1986年 / 4卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.574044
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
引用
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页码：2141 / 2149
页数：9
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共 2 条
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