PLASMA CHEMISTRY OF RF DISCHARGES IN CO2-LASER GAS-MIXTURES

被引:25
作者
WILLIAMS, GCR
SMITH, ALS
机构
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/18/3/004
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:12
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