OPTICAL DIAGNOSTICS AND KINETICS OF LOW-PRESSURE PLASMA REACTORS

被引：0

作者：

GARSCADDEN, A ^{[1
]}

机构：

[1] USAF,WRIGHT AERONAUT LABS,WRIGHT PATTERSON AFB,OH 45433

来源：

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION | 1986年 / 3卷 / 13期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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