A DESIGN OVERVIEW OF AN ECCENTRIC-MOTION ELECTROSTATIC MICROACTUATOR (THE WOBBLE MOTOR)

被引：43

作者：

JACOBSEN, SC

PRICE, RH

WOOD, JE

RYTTING, TH

RAFAELOF, M

机构：

[1] UNIV UTAH,DEPT MECH ENGN,SALT LAKE CITY,UT 84112

[2] UNIV UTAH,DEPT BIOENGN,SALT LAKE CITY,UT 84112

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87096-9

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

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