ELECTRON-IRRADIATION INDUCED CORROSION OF SILICON

被引:9
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作者
FLOWER, HM [1 ]
SWANN, PR [1 ]
机构
[1] UNIV LONDON,IMPERIAL COLL SCI & TECHNOL,DEPT MET & MAT SCI,LONDON SW7 2BP,ENGLAND
关键词
D O I
10.1016/0010-938X(77)90055-5
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:305 / 315
页数:11
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