ANGLE-OF-INCIDENCE AND STRESS EFFECTS ON ROTATING AND STATIONARY SUBSTRATES

被引:12
作者
BEHRNDT, KH
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1965年 / 2卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.1492400
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:63 / &
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