ANOMALOUS LOCAL OXIDATION AND RECRYSTALLIZATION OF VACUUM-DEPOSITED AMORPHOUS-SILICON BY CW LASER IRRADIATION

被引：1

作者：

MINAGAWA, S

GIBBONS, JF

MAGEE, TJ

ORMOND, R

BLATTNER, RJ

FURMAN, BK

机构：

[1] ADV RES & APPLICAT CORP,SUNNYVALE,CA 94086

[2] CHARLES EVANS & ASSOCIATES,SAN MATEO,CA 94402

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123995

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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