OPTICAL-PROPERTIES OF SIC FOR CRYSTALLINE AMORPHOUS PATTERN FABRICATION

被引:49
作者
DERST, G
WILBERTZ, C
BHATIA, KL
KRATSCHMER, W
KALBITZER, S
机构
关键词
D O I
10.1063/1.101271
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1722 / 1724
页数:3
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