SILICON-NITRIDE FROM ORGANOSILAZANE CYCLIC AND LINEAR PREPOLYMERS

被引：15

作者：

ARKLES, B

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2108532

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：233 / 234

页数：2

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共 6 条

[1]

BEATTY CL, 1984, ULTRASTRUCTURE PROCE

[2]

MAZAEV BA, 1983, INORGANIC MATERIALS, V19, P2044

[3]

REINBERG AR, 1980, Patent No. 4200666

[4]

SEYFERTH D, 1983, J AM CERAM SOC, V66, pC13

WALSH, R .

[6]

ZHINKIN DY, 1963, PLAST MASSY, V12, P16