SPUTTERED C-AXIS INCLINED PIEZOELECTRIC FILMS AND SHEAR-WAVE RESONATORS

被引:0
作者
WANG, JS [1 ]
LAKIN, KM [1 ]
LANDIN, AR [1 ]
机构
[1] IOWA STATE UNIV SCI & TECHNOL,AMES LAB,AMES,IA 50011
来源
IEEE TRANSACTIONS ON SONICS AND ULTRASONICS | 1983年 / 30卷 / 06期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O42 [声学];
学科分类号
070206 ; 082403 ;
摘要
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页码:391 / 392
页数:2
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