CAPLESS ANNEALING OF SILICON IMPLANTED GALLIUM-ARSENIDE

被引:11
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作者
GRANGE, JD
WICKENDEN, DK
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(83)90129-6
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页数:5
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