INFLUENCE OF THERMAL INHOMOGENEITY ON VAPOR-PHASE DOPING PROCESSES

被引：0
作者：
PROLOV, IA
TOMCHINSKII, AM
AVERYANOV, VE
LUKICHEV, AV
机构：
来源：
INORGANIC MATERIALS | 1984年 / 20卷 / 09期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
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页码：1235 / 1238
页数：4
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共 8 条
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