INTERFACIAL REACTIONS IN THE AL/SI3N4/SI AND AU/SI3N4/SI SYSTEMS

被引:5
作者
EDELMAN, F
GUTMANAS, E
BRENER, R
机构
来源
INTERFACES BETWEEN POLYMERS, METALS, AND CERAMICS | 1989年 / 153卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-153-77
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:77 / 82
页数:6
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