PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE SILICON

被引:65
作者
SETO, JYW [1 ]
机构
[1] GM CORP,CTR TECH,DEPT ELECTR,RES LABS,WARREN,MI 48090
关键词
D O I
10.1063/1.322515
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4780 / 4783
页数:4
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