THE DETERMINATION OF OXIDE FILM THICKNESS AND COMPOSITION ON INDIUM AND CHROMIUM BY DECOMPOSITION OF AUGER-ELECTRON SPECTRA

被引:14
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作者
SICONOLFI, DJ
FRANKENTHAL, RP
机构
关键词
D O I
10.1016/0010-938X(84)90042-8
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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