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SURFACE-LAYER CHARACTERISTICS OF ION-IMPLANTED METALS
被引:15
作者
:
IWAKI, M
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
IWAKI, M
机构
:
来源
:
THIN SOLID FILMS
|
1983年
/ 101卷
/ 03期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0040-6090(83)90249-3
中图分类号
:
T [工业技术];
学科分类号
:
08 ;
摘要
:
引用
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页码:223 / 231
页数:9
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