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MICROCOMPUTER-MULTICHANNEL ANALYZER DATA SYSTEM FOR FOREGROUND-BACKGROUND DATA-COLLECTION AND ANALYSIS
被引：6
作者：
BEARD, BC
DAHLGREN, D
ROSS, PN
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1985年
/
3卷
/
05期
关键词：
D O I：
10.1116/1.572925
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
引用
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页码：2041 / 2043
页数：3
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