SURFACE-STRUCTURES OF THE (AL,GA)SB SYSTEM

被引:10
作者
PIAO, J [1 ]
BERESFORD, R [1 ]
WANG, WI [1 ]
机构
[1] COLUMBIA UNIV,MICROELECTR SCI LABS,NEW YORK,NY 10027
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.584826
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:276 / 278
页数:3
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