SELF-ALIGNED-GATE GAINAS MICROWAVE MISFETS

被引:19
作者
GARDNER, PD
LIU, SG
NARAYAN, SY
COLVIN, SD
PACZKOWSKI, JP
CAPEWELL, DR
机构
关键词
D O I
10.1109/EDL.1986.26401
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:363 / 364
页数:2
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共 13 条
[11]  
LIU SC, COMMUNICATION
[12]   RAPID CAPLESS ANNEALING OF SI-28, ZN-64, AND BE-9 IMPLANTS IN GAAS [J].
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JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 1984, 13 (06) :897-911
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