ERRORS INTRODUCED BY AN OPTICAL FOURIER PROCESSOR IN A LASER DIFFRACTOMETER FOR SMALL LINEAR DIMENSIONS

被引:0
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作者
TARLYKOV, VA
机构
来源
MEASUREMENT TECHNIQUES USSR | 1986年 / 29卷 / 06期
关键词
D O I
10.1007/BF00865809
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:508 / 510
页数:3
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