NANOMETER LITHOGRAPHY WITH THE SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

被引：87

作者：

RINGGER, M

HIDBER, HR

SCHLOGL, R

OELHAFEN, P

GUNTHERODT, HJ

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1985年 / 46卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1063/1.95900

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：832 / 834

页数：3

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