RESIDUAL DONOR IMPURITIES IN MO-CVD GALLIUM-ARSENIDE

被引:10
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作者
OHYAMA, T [1 ]
OTSUKA, E [1 ]
MATSUDA, O [1 ]
MORI, Y [1 ]
KANEKO, K [1 ]
机构
[1] SONY CORP,RES CTR,HODOGAYA KU,YOKOHAMA 240,JAPAN
来源
关键词
D O I
10.1143/JJAP.21.L583
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L583 / L585
页数:3
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