DIRECT ELECTRON-SPIN-RESONANCE DETERMINATION OF DANGLING BOND-ENERGIES IN RF-SPUTTERED HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON

被引:9
作者
JOUSSE, D
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97347
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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