COMPACT METAL-ION BEAM SOURCE USING THERMAL CONTACT IONIZER

被引：7

作者：

SAKAI, Y

KATSUMATA, I

OSHIO, T

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1983年 / 22卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.22.1048

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1048 / 1056

页数：9

共 17 条

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