EXPERIMENTAL TESTS OF NON-THERMAL EFFECT FOR PULSED-LASER ANNEALING BY TIME-RESOLVED REFLECTIVITY AND ELECTRON-PARAMAGNETIC-RES MEASUREMENTS

被引：13

作者：

MURAKAMI, K ^{[1
]}

MASUDA, K ^{[1
]}

AOYAGI, Y ^{[1
]}

NAMBA, S ^{[1
]}

机构：

[1] INST PHYS & CHEM RES,WAKO,SAITAMA 351,JAPAN

来源：

PHYSICA B & C | 1983年 / 116卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0378-4363(83)90308-X

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

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页数：6