SILICON DIFFUSION AT POLYCRYSTALLINE-SI/GAAS INTERFACES

被引:45
作者
KAVANAGH, KL
MAYER, JW
MAGEE, CW
SHEETS, J
TONG, J
WOODALL, JM
机构
[1] RCA LABS,DAVID SARNOFF RES CTR,PRINCETON,NJ 08540
[2] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
[3] ADV SEMICOND MAT AMER INC,PHOENIX,AZ 85040
[4] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1063/1.96330
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1208 / 1210
页数:3
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