PRECISION LINEWIDTH MEASUREMENT USING A SCANNING ELECTRON-MICROSCOPE

被引：0

作者：

SEILER, DG ^{[1
]}

SULWAY, DV ^{[1
]}

机构：

[1] BAUSCH & LOMB INC SEMCO INSTRUMENTS,2930 BASELINE RD,NEPEAN K2H 8T5,ONTARIO,CANADA

来源：

PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS | 1984年 / 480卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：8