REMOVAL OF GAS-PHASE IONS BY ENERGY SELECTION OF SECONDARY IONS

被引：9

作者：

NAKAMURA, K

TAMURA, H

KONDO, T

机构：

[1] HITACHI LTD,NAKA WORKS,KATSUTA,IBARAKI,JAPAN

[2] HITACHI LTD,NAKA BRANCH,CENT RES LAB,KATSUTA,IBARAKI,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1974年 / 13卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.13.917

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：917 / 918

页数：2

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共 3 条

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